普旭COBRADS2610/3010E真空泵工作原理
普旭（Busch）是一家在范圍內提供真空泵、鼓風機和壓縮機的生產*。到2015年為止，普旭在范圍內擁有3000名員工。廣泛的真空泵系列、專業的真空知識、在真空系統建造方面的豐富經驗以及廣泛的服務網絡，使得普旭（Busch）*有能力為客戶提供理想并完善的真空解決方案。
基本情況編輯
普旭（Busch）是真空泵、鼓風機以及壓縮機的廠商之一。產品系列涵蓋了廣泛應用于所有工業領域的真空和正壓技術解決方案。憑借在真空泵及低壓泵制造領域50多年的經驗，普旭（Busch）可提供種類齊全的產品，為提供廣泛的工業真空技術。
普旭（Busch）創建于1963年，總部位于德國馬爾堡。普旭（Busch）在德
國、瑞士、美國、英國、韓國、捷克共擁有6家現代化制造工廠，連同遍布于43個主要工業國家的61家分公司及完善的經銷服務網絡為用戶提供專業服務。
我們公司成立于1963年。我們在40多個國家和地區擁有60多家公司，無論客戶身在何處，我們都能為客戶提供完善的建議和實際支持。
我們所有的產品都具有多種選項和*設計功能，以滿足各種應用需求，因此我們的客戶可以從合適和具有成本效益的解決方案中受益。我們不斷評估我們的活動，以保持高標準，并繼續開發定義真空系統應用未來的創新技術。
我們的總部位于德國Maulburg，主要的德國制造工廠所在地。Maulburg也是德國銷售組織的所在地。Busch在瑞士，英國，捷克共和國，韓國和美國經營生產工廠。Busch集團是一家家族企業，由Busch家族成員管理。
Busch在擁有3,000多名員工，包括許多化學工程，機械工程和服務專家。憑借我們的服務網絡，我們為客戶提供真空泵和系統的無縫服務。Busch服務技術人員和工程師在各個角落和許多行業維護真空系統-從北冰洋的海上石油勘探到巴塔哥尼亞的食品包裝。
干式螺桿真空泵的原理：
干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節能，免維修等優點。它是傳統真空泵的更新換代產品，未來具有極大的市場前景。
COBRASemicon干式螺桿真空泵
極限壓力：0.001-0.03hPa（mbar）
標稱抽速50Hz：70-7385m?/h
標稱抽速60Hz：85-7385m?/h
干式螺桿真空泵工作原理：
與螺桿式壓縮機類似，螺桿式干式真空泵的工作過程可分為吸氣、壓縮和排氣三個過程。隨著轉子的旋轉，每對相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環，現在以其中一對齒來說明。
吸氣過程
陽轉子按逆時針方向旋轉，陰螺桿按順時針方向旋轉。圖中上方的轉子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。
壓縮過程
轉于端面是排氣端面。在這里，陽轉子沿順時針方向旋轉，陰轉于沿逆時針方向旋轉。圖中上方的轉子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。
排氣過程
螺桿泵的排氣過程，齒間容積與排氣孔口連通后，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出，
COBRASemicon干式螺桿真空泵在半導體，太陽能模塊和平板顯示器生產等高要求工藝中以及眾多工業涂料應用中使用效率*。
可靠
配備電機，COBRASemicon螺桿真空泵具有出色的節能潛力。簡單的設計采用經過驗證的Busch螺桿型材（可選配額外的直接法蘭安裝的羅茨真空泵），使COBRASemicon成為功能強大，可靠且低維護的真空發生器。
面向應用的
COBRASemicon螺桿真空泵有多種尺寸和型號可供選擇，可與任何工藝匹配。即使在空間有限的情況下，其緊湊的結構也簡化了安裝。這些泵具有同類產品中高的抽速，可提供大的產量（即使是氫氣）和對顆粒的廣泛耐受性。
COBRADS2610/3010E.
*螺絲設計
：
低運營成本，少的維護，高正常運行時間
靈活：
面向應用
過程時間短：
由于抽速高
緊湊的設計
COBRADS2610/3010E是經過驗證的COBRADS系列的干式螺桿真空泵。即使在需要高氫氣吞吐量的條件下，它們的高抽速也使COBRADS螺桿真空泵成為光伏電池，平板和半導體生產中所有苛刻工藝的理想選擇。*COBRADS螺桿真空泵技術可以將帶粉末和顆粒的介質抽空。
COBRADS干式螺桿真空泵具有干式壓縮，專門開發的螺桿型材和*的氣體排放。結果是高度的蒸氣和顆粒耐受性。螺釘由單件鑄件制成，避免任何間隙，使得工藝流體或顆粒無法進入，從而防止腐蝕。
COBRADS2610/3010E標配集成真空助力器，可提供更高的抽速和極限壓力。前級泵和真空助力器組合在一個緊湊的底座上。
COBRADS2610/3010E配備電機，具有出色的能效。由于維護要求低，運行成本低，正常運行時間長，生命周期長，因此總體擁有成本非常低，為此性能等級設定了標準。
由于采用嵌入式設計，可以快速，輕松地將這些螺桿真空泵改裝到現有系統。
普旭COBRADS2610/3010E真空泵應用：
高密度等離子體CVD（HDP-CVD）
快速熱處理（RTP）
亞大氣壓CVD（SACVD）
金屬有機CVD（MOCVD）
等離子體增強CVD（PECVD）
低壓CVD（LPCVD）
原子層沉積（ALD）
大容量負載鎖定
技術規格
COBRADS2610/3010E是螺桿真空泵和一個真空助力器。螺桿真空泵的氣缸內的兩個螺桿轉子以相反的方向旋轉。泵送的介質被截留在汽缸和螺桿室之間，被壓縮并被輸送到氣體出口。在壓縮過程中，螺桿轉子不會彼此接觸或與氣缸接觸。因此，壓縮室中不需要潤滑劑或工作流體。COBRADS系列真空泵采用的間接水冷卻，可在整個泵體內實現可控的溫度分布，并可響應工藝變化。*螺桿設計可實現*的泵送速度，從而排出氫氣。
普旭COBRA DS 0700 - 2000 G真空泵同類產品其他型號：
COBRADS0080/0160G             COBRADS0600E
COBRADS0700-2000G             COBRADS2610/3010E
COBRADS5161/9161A             COBRADS8162/8163A/E
COBRABA0100CCOBRAB            C0100/0200F
COBRABC0101FCOBRAB            C0101G
COBRABC0600FCOBRAB            C1000/2000F
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普旭COBRADS2610/3010E真空泵工作原理